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아즈텍

ALPHA OMEGA IN SAPPHIRE
TECHNOLOGY

기술자료

사파이어소재

물성표 / 투과율

물성표
물성표
투과율
투과율
불꽃감지기(자외선, 적외선 특성)
불꽃감지기(자외선, 적외선 특성)을 설명하는 표입니다
구분 자외선 적외선 관리항목
광학사양 180nm~260nm 4㎛~5㎛ PASS
응답파장 185nm~260nm 4.35㎛ ±0.2㎛ PASS
표면조도 Ra 0.01~0.02 PASS

내식성 등 자료

Sapphire vs Quartz 식각률 비교 (반도체 업체 Test 결과 참조)
1. HF에 대한 부식 정도 비교 불산 (HF) 농도 49%에 12시간 담근 후 변화량 측정
1. HF에 대한 부식 정도 비교를 설명하는 표입니다
No 시편소재 실험 前 실험 後 식각률
1 Sapphire Rod 외형 변화 Ø 9.25 (mm) Ø 9.25 (mm) 0 %
무게 변화 - -
2 Quartz Rod 외형 변화 Ø 9.855 (mm) Ø8.255 (mm) 16.2%
무게 변화 17.109 (g) 14.839 (g) 13.3%
2. 내 Plasma 특성 Ion Milling Rate : Sapphire가 Quartz 대비 1/3 이하의 비율로 침식됨
2. 내 Plasma 특성을 설명하는 표입니다
No 시편소재 Ar + Ion Energy
1000 eV 2000 eV
1 Sapphire Rod 0.04 0.11
2 Quartz Rod 0.13 0.40