구분 | 자외선 | 적외선 | 관리항목 |
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광학사양 | 180nm~260nm | 4㎛~5㎛ | PASS |
응답파장 | 185nm~260nm | 4.35㎛ ±0.2㎛ | PASS |
표면조도 | Ra 0.01~0.02 | PASS |
No | 시편소재 | 실험 前 | 실험 後 | 식각률 | |
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1 | Sapphire Rod | 외형 변화 | Ø 9.25 (mm) | Ø 9.25 (mm) | 0 % |
무게 변화 | - | - | |||
2 | Quartz Rod | 외형 변화 | Ø 9.855 (mm) | Ø8.255 (mm) | 16.2% |
무게 변화 | 17.109 (g) | 14.839 (g) | 13.3% |
No | 시편소재 | Ar + Ion Energy | |
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1000 eV | 2000 eV | ||
1 | Sapphire Rod | 0.04 | 0.11 |
2 | Quartz Rod | 0.13 | 0.40 |